製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

こちらは、自動機・省人化装置マイスター.comを運営するタカキ製作所が急け機・製作をおこなった、半導基板　供給トレイローダー装置という装置です。半導体製造の後工程において、基板を供給するための装置事例です。比較的高速、高精度で駆動しワークに傷等がつかないよう、正確・高速・高品質に移動できることが特徴です。
【対応基板ｻｲｽﾞ】
Ｌ(長手方向) 85～120mm　W(短手方向) 38～62mm　供給動作ｻｲｸﾙ：10sec/F
①JEDECﾄﾚｲｾｯﾄ(逆差し防止ｱﾘ) し前後方向にﾁｬｯｷﾝｸﾞ固定にてﾄﾚｲ搬送。(Max30枚積載)
②搬送ﾛﾎﾞｯﾄ(吸着式&ﾀｲﾌﾟ別ﾍｯﾄﾞ可)XZ+Θ(180度回転)ﾓｰﾀ駆動で、基板搬送。
③搬送基板をﾍﾞﾙﾄｺﾝﾍﾞｱにｾｯﾄ(有無検出と待機ﾎﾟｼﾞｼｮﾝは同一箇所)し、下流装置の供給要求信号で
　次工程装置に払い出し。
④ﾍﾞﾙｺﾝの幅対応は 38~62mmまで(上記ｻｲｽﾞ範囲)で、ﾚﾊﾞｰ回転で幅ﾁｪﾝｼﾞ可能。
⑤ｵﾌﾟｼｮﾝで市販のﾊﾞｰｺｰﾄﾞﾘｰﾀﾞや検査ﾕﾆｯﾄなど搭載可。(待機ﾎﾟｼﾞｼｮﾝの活用)